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20.05.2011: Protokolle und Programm der ITG-Tagung in Grainau 2011 eingefügt, Daten des Treffens bei RoodMicrotec 03/2011 eingefügt 01.04.2010: Protokolle und Programm der ITG-Tagung in Grainau 2010 eingefügt 01.04.2008: Protokolle und Programm der ITG-Tagung in Grainau 2008 eingefügt 01.06.2005: Programm der ITG-Tagung im Mai eingefügt 01.02.2005: Protokoll von 01/2005 eingefügt Teilnehmerliste aktualisiert. 01.07.2004: Vortrag eingefügt, Link auf IRW2004 aufgenommen 01.04.2004: Einladung, Anmeldung und Programm für ITG-Tagung Grainau eingefügt 11.03.2004: Mitgliederliste aktualisiert, vorläufiges Besprechungsprotokoll von 03/2004 eingefügt 15.09.2003: Links zum VDE aktualisiert, Fotos eingefügt 08.07.2003: Mitgliederliste aktualisiert, Equipment-Liste aktualisiert, vorläufiges Besprechungsprotokoll von 07/2003 eingefügt 27.06.2003: Verschiedene Vorträge eingefügt 09.05.2003: Protokoll von 01/2003 eingefügt, Ziele eingefügt 07.04.2003: Links zu VDE und ITG aktualisiert 01.04.2003: Programm und Anmeldung für ITG-Tagung im Mai eingefügt 25.03.2003: Programme älterer ITG-Tagungen eingefügt 18.12.2002: Einladung ITG-Treffen und ITG-Tagung eingefügt, allgemeine Aktualisierungen 06.11.2002: Hinweis auf "The 2003 International Conference on Characterization and Metrology for ULSI Technology" eingefügt 21.08.2002: Protokoll der 20. Sitzung eingefügt 30.01.2002: Einladung zur 20. Diskussionsitzung "Fehlermechanismen bei kleinen Geometrien" eingefügt 17.10.2001: Vortrag über Blasen in Balls von BGAs eingefügt |