Lothar Frey, Fraunhofer Institut für Integrierte Schaltungen, Bauelementetechnologie, Erlangen

  Besprechungsleitung: Christian Boit

Organisation & Protokoll: Lothar Frey, Fraunhofer Institut Integrierte Schaltungen Erlangen

Verteiler:

Herr Boit begrüßt insbesondere die neuen Mitglieder der Fachgruppe 8.5.2., Herr Lohr, Hitachi Landshut und Herr Otte, Texas Instruments Deutschland GmbH Freising.

Die neuen Mitglieder Herr Lohr und Herr Otte stellen Ihre Arbeitsgebiete und Schwerpunkte Ihrer Arbeit vor:

Im Anschluß kurze Vorstellung der Runde durch die einzelnen FG-Mitglieder. Neue Analyseaspekte werden vorgestellt:

Die Fachgruppe schlägt folgende Themen für das Treffen in Bayersoien vor:

• UV-Mikroskopie (AMD)
• Kupferanalysen (Infineon)
• Inline FIB (Infineon)
• Öffnen von Sandwichgehäusen (Bosch)

Top 4: Nutzen und Wert der Fehleranalyse - Benchmarking

• Herr Boit berichtet über Benchmarking-Ansätze bezüglich Fehleranalyse bei Infineon und präsentiert hierzu einige Folien:

3 Aspekte: i) Quality / Results

• Herr Otte macht auf Benchmarking-Runden in der Fehleranalyse von Texas Instruments aufmerksam, die dort mit den anderen Laboratorien der Firma durchgeführt werden. Die Bewertungskriterien, die diesem Test zugrunde liegen, werden beim nächsten Treffen vorgestellt.
• Herr Weber erläutert seine Prioritätensetzung bei der Fehleranalyse und verweist auf die Situation, daß ohne strenge Auflagen und Prioritätenfindung, zu viele Aufträge auf die Fehleranalyse kommen.
• Herr Zschech erläutert die Prioritätensetzung in seiner Abteilung. Er teilt die Analysen in vier Gruppen. Höchste Priorität besteht dann, wenn die Fertigungslinie steht (Priorität 1). Hier ist eine Responsezeit von 0,5 Tage vorgegeben.
• Herr Boit bezieht sich dann noch einmal auf die Komplexität einer Fehleranalyse und erläutert dies an Beispielen zur CMP-Analyse und ESD-Ausfallanalyse. Er beschreibt seine Erfahrungen in der Verkürzung der Analysezeit durch Lernkurven.
• Herr Weber erläutert die Klassifizierung von Fehleranalysen bei Bosch. Dort werden Analysen in drei Klassen eingeteilt. Ein Benchmarking erfolgt durch die Anzahl der Analysen pro Mitarbeiter und die Komplexität einer Analyse durch die Anzahl der Analyseschritte. Die Analysekapazität bei Bosch ist ohne Berücksichtigung der Komplexität etwa konstant; unter Berücksichtigung der Komplexität erfolgt hier ein deutlicher Anstieg.

Top 5: Sonstiges

• Herr Lindner, Micronas, stellt kurz die neuen Arbeitsgebiete der Firma Micronas vor, die sich am Standort Freiburg auf einen 0,5 µm CMOS-Prozess stützt. Die Anwendungen liegen bei digitaler Elekronik für TV und Audioanwendungen sowie im Bereich Automotive und digitale Telekommunikation.
• Herr Boit regt zum Abschluß der Vormittagssitzung an, daß alle Mitglieder der Fachgruppe bei Verhinderung einen Vertreter entsenden und daß der Vorsitz in Vertretung des Fachgruppenleiters durch den jeweiligen Standortrepräsentant vorgenommen wird.

Es wird der 18. Januar 2000 als Termin vorgesehen. Als Ort wird Motorola, München, vorgeschlagen.

Ende der Vormittagssitzung. Fortsetzung des Fachgruppentreffens am Nachmittag in einer gemeinsamen Sitzung mit der Fachgruppe 8.5.1. "Kontaktloses Testen".

Die Vorsitzenden der beiden Fachgruppen, Herr Mertin und Herr Boit, beschreiben kurz ihre jeweilige Fachgruppe und stellen die Schwerpunkte dar.

• Die Fachgruppe "Kontaktloses Testen" beschäftigt sich seit ihrer Gründung mit folgenden Themen:
• Testchip
• Methodenentwicklung für Testen inkl. CAD-Integration
• Entwicklung neuer Verfahren auf Basis von Rastersonden und elektrooptischen Verfahren
• Elektronenstrahltest
• Erstellung von Pflichtenheften für zukünftige Testverfahren jenseits 2000.

• Herr Boit stellt die Fachgruppe 8.5.2. vor. Er weist darauf hin, daß diese Fachgruppe fast ausschließlich durch Industrieteilnehmer besetzt ist und stellt die einzelnen Mitglieder vor. Diese Fachgruppe hat folgende Ziele:
• Erfahrungsaustausch bei analytischen Fragestellungen
• Gemeinsame Bewertungen neuer Methoden und Geräte
• Diskussion neuer fehleranalytische Fragestellungen - als Beispiele sind hier die Einführung von Kupfer, neue Materialien im Frontend-Bereich und die Rückseitenanalyse genannt
• Performanceindikatoren und Effektivität der Fehleranalyse
• Vorbereitungen von Fachtagungen wie Bayersoien

Herr Mertin erläutert, daß die Aktivitäten der Fachgruppe "Kontaktloses Testen" sich schwerpunktmäßig auf den Bereich der Mikro- und Nanosondentechnik bewegt, wobei hier große Fortschritte, jedoch noch kein Durchbruch, zu erkennen sind. Als große Herausforderung auf dem Gebiet der Fehleranalyse wird durch mehrere Mitglieder der Fachgruppe 8.5.2. die Rückseitenanalyse identifiziert. Die Rückseite ersetzt die Vorderseite als Zugangsweg, daher ist es nicht mehr möglich, mit Hilfe der klassischen optischen Mikroskopie die Probe zu analysieren. Eine ähnliche Problematik ergibt sich beim Elektronenstrahltesten, dessen Einsatz durch die erhöhte Anzahl der Metallisierungsebenen ebenfalls schwieriger bzw. unmöglich wird, z. B. in Chips mit bis zu fünf Metallisierungsebenen. Mit diesen Anwendungen verbunden ergibt sich für beide Fachgruppen die Gemeinsamkeit, daß aufwendiges Equipment benötigt wird, obwohl es häufig nur in Einzelfällen zum Einsatz kommt. Als Fazit der gemeinsamen Sitzung der Fachgruppen wird festgelegt:

• Beide Fachgruppen sind in ergänzender Weise im Bereich Analyse und Testen tätig.
• Die fachliche Überlappung ist begrenzt, so daß gemeinsame Sitzungen nicht regelmäßig notwendig sind.
• Es sollte zu besonderen Anlässen gemeinsame Sitzungen geben, unter anderem auch, um Strategien und "Road Maps" abzugleichen.
• Die Anforderungskataloge für die jeweiligen Methoden und Technologien werden in Zukunft ausgetauscht. Hier ist vorgesehen, in den nächsten Fachgruppentreffen Anforderungskataloge bezüglich Testen zu erstellen.

Beide Fachgruppen führen eine Internetseite. Sie sind unter folgenden Adressen zu finden:

Fachgruppe 8.5.2. "Fehleranalyse":

Fachgruppe 8.5.1. "Kontaktloses Testen":

Ende der gemeinsamen Sitzung.

Nächste Fachsitzung am Dienstag, den 18.01.2000 in München (Motorola)

15. Dezember 1999

Lothar Frey